Описание
Под ред. Масленникова П.Н. М. Энергия 1970г. 184с твердый переплет, энциклопедический формат.
Книга знакомит с технологическим и контрольно-измерительным оборудованием, применяемым в производстве полупроводниковых приборов и твердых схем. Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко используемого в полупроводниковой промышленности оборудования; даются основные сведения по технологии полупроводникового производства. Значительное внимание уделено вопросам механизации и автоматизации полупроводникового производства, перспективным направлением механизации и автоматизации, описаны наиболее характерные комплексно-механизированные линии. Иллюстрирована.
Cостояние: Хорошее.
