Описание
Демин В.В., Готра З.Ю., Матвийкив М.Д. Прогрессивные методы производства микросхем.Львов Каменяр 1973г. 80с мягкий переплет, обычный формат.
В книге рассматриваются некоторые физико-технологические вопросы применения потоков ионов и электронов в производстве микросхем, в частности ионное и электронно-лучевое напыление тонких пленок, их обработка потоками ионов и электронов, электронно-лучевое легирование полупроводников, электронно-лучевая сварка, применения электронного и ионного лучей для контроля за ходом технологического процесса и т.п.
Cостояние: Хорошее.
